2022年8月18日，華特氣體(688268.SH)公布向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券申請文件的審核問詢函的回復(fù)。關(guān)于本次募投項目，根據(jù)申報材料，(1)本次擬募集不超過64,600.00萬元，其中38,300.00萬元用于半導(dǎo)體材料建設(shè)項目，項目達(dá)產(chǎn)后將新增高純一氧化碳、高純一氧化氮等特種氣體年產(chǎn)1,764噸的產(chǎn)能，其中電子級溴化氫、高純六氟丙烷、電子級三氯化硼為新產(chǎn)品，特種氣體在進(jìn)入下游客戶供應(yīng)鏈體系的過程中需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證2輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證。另外擬分別投入7,300.00萬元、19,000.00萬元用于研發(fā)中心建設(shè)項目和補(bǔ)充流動資金;(2)本次募投項目將通過江西華特在現(xiàn)有空余場地上擴(kuò)建生產(chǎn)基地，與前次募投項目的實施主體與實施地點(diǎn)相同且前次募投項目也涉及電子特氣的生產(chǎn);(3)半導(dǎo)體材料建設(shè)項目、研發(fā)中心建設(shè)項目尚未取得環(huán)評批復(fù)。

上交所要求發(fā)行人說明：(1)本次募投項目產(chǎn)品選擇的具體考慮，與前次募投項目是否存在共用產(chǎn)線、土地、廠房的情形;(2)結(jié)合是否具備生產(chǎn)新產(chǎn)品的主要技術(shù)、生產(chǎn)資質(zhì)獲取情況、相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品獲得客戶認(rèn)證情況等，說明發(fā)行人實施本次募投項目的可行性與必要性;(3)研發(fā)中心建設(shè)項目的具體研發(fā)內(nèi)容，與核心技術(shù)和主要業(yè)務(wù)的關(guān)系，是否具備相關(guān)的人員、技術(shù)等儲備;(4)結(jié)合本次募投項目的市場空間、競爭格局、下游客戶需求、報告期內(nèi)產(chǎn)品收入情況、現(xiàn)有及潛在訂單，說明半導(dǎo)體材料建設(shè)項目新增產(chǎn)能規(guī)劃的合理性、產(chǎn)能消化風(fēng)險以及應(yīng)對措施;(5)環(huán)評手續(xù)辦理的當(dāng)前進(jìn)展與后續(xù)流程，預(yù)計取得批復(fù)的時間是否存在重大不確定性。

華特氣體回復(fù)稱，公司本次募投項目產(chǎn)品的選擇主要基于公司的經(jīng)營策略，圍繞公司的優(yōu)勢產(chǎn)品進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)和延伸，同時著眼于未來下游市場需求，綜合考慮投資規(guī)模及項目可實施性，具體分析如下：

1、貫徹以特種氣體為核心的經(jīng)營策略

公司堅持以特種氣體業(yè)務(wù)為核心，致力于完善公司電子特種氣體產(chǎn)品布局，擴(kuò)充公司氣體產(chǎn)品種類，推動電子特種氣體的國產(chǎn)化，打破極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等尖端領(lǐng)域氣體材料進(jìn)口制約。本次募投項目產(chǎn)品均為電子特種氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。

2、圍繞公司優(yōu)勢產(chǎn)品進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)和延伸

高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優(yōu)勢產(chǎn)品，隨著下游客戶需求的不斷增長以及公司市場開拓的不斷深入，報告期內(nèi)相關(guān)產(chǎn)品的收入規(guī)模迅速增長，需要對現(xiàn)有的生產(chǎn)條件進(jìn)行提升，以匹配下游客戶的需求。

公司高純一氧化碳產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的干法蝕刻，為化學(xué)氣相沉積工藝過程提供碳源;高純一氧化氮產(chǎn)品主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中的氧化、化學(xué)氣相沉積工藝，均為公司已實現(xiàn)進(jìn)口替代的優(yōu)勢產(chǎn)品。隨著長江存儲、中芯國際、合肥晶合等下游集成電路領(lǐng)域客戶產(chǎn)能的不斷提升，對高純一氧化碳、高純一氧化氮的需求量迅速增長，目前公司產(chǎn)能利用率已超過100%，原有的產(chǎn)線及設(shè)備產(chǎn)能出現(xiàn)瓶頸，限制了公司相關(guān)產(chǎn)品業(yè)務(wù)規(guī)模的發(fā)展，產(chǎn)能已不能夠滿足下游客戶和公司市場開拓需求，亟需進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。

稀有氣體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的光刻、蝕刻和冷卻環(huán)節(jié)，公司是目前國內(nèi)唯一一家Ar/F2/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F2/Ne混合氣產(chǎn)品通過全球最大光刻機(jī)制造廠商ASML的認(rèn)證的公司，打破了國外氣體公司的壟斷，產(chǎn)品擁有較強(qiáng)的市場競爭力。2022年以來，稀有氣體市場價格出現(xiàn)大幅上漲，隨著集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化需求的不斷增長和國內(nèi)對稀有氣體的愈發(fā)重視，國內(nèi)新增了較多空分裝置用于稀有氣體粗產(chǎn)品的生產(chǎn)，但具備直接進(jìn)入下游半導(dǎo)體等尖端應(yīng)用領(lǐng)域供應(yīng)鏈條件的公司則較少。在該背景下，公司通過建立超純稀有氣體的純化裝置，采購低純度稀有氣體粗品進(jìn)行純化，能夠豐富自身稀有氣體的原材料供應(yīng)渠道，為公司光刻氣等產(chǎn)品提供原料保障，提高原材料端的穩(wěn)定性和可控性。

超高純氫氣廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中襯底的制備、氧化工藝、外延工藝以及化學(xué)氣相沉積(CAD)中，常常與鍺烷、磷烷、乙硅烷等產(chǎn)品混合使用，本次新增產(chǎn)能主要系滿足客戶的產(chǎn)品配套需求。

3、緊跟下游領(lǐng)域未來發(fā)展趨勢及客戶需求，豐富自身產(chǎn)品布局

高純六氟丙烷、電子級溴化氫和電子級三氯化硼為公司規(guī)劃的新產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品均著眼于下游半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域的未來發(fā)展趨勢，結(jié)合下游客戶的需求所布局，相關(guān)產(chǎn)品均具備較大的未來市場空間和國產(chǎn)化替代空間。

高純六氟丙烷為新一代等離子體刻蝕氣體，主要應(yīng)用于3DNAND存儲芯片的制造過程，因其獨(dú)特的化學(xué)結(jié)構(gòu)，具有優(yōu)越的安全性、環(huán)保性和刻蝕速率，滿足3DNAND在堆疊層數(shù)不斷提升的情況下，蝕刻過程中高深寬比的工藝需求，是3DNAND制造過程中重要的新一代刻蝕氣體。目前，集成電路廠商使用的高純六氟丙烷產(chǎn)品主要由國外氣體廠商供應(yīng)，隨著未來3DNAND的市場規(guī)模的不斷增長以及產(chǎn)品堆疊層數(shù)、工藝制程的不斷發(fā)展，未來高純六氟丙烷的市場空間廣闊。

電子級溴化氫主要應(yīng)用于摻磷的多晶硅、單晶硅或者二維半導(dǎo)體的刻蝕，是氟碳類氣體替代產(chǎn)品之一和芯片先進(jìn)制程的核心氣體之一，在存儲芯片領(lǐng)域及邏輯芯片、功率半導(dǎo)體的先進(jìn)制程方面有廣泛應(yīng)用。目前，國內(nèi)已實現(xiàn)應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域外的純度較低的溴化氫產(chǎn)品供應(yīng)，但應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的電子級溴化氫則主要被日本、韓國等國外氣體廠商壟斷。

電子級三氯化硼主要應(yīng)用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝，在氮化鎵(GaN)、碳化硅(SiC)為代表的第三代半導(dǎo)體也有廣泛應(yīng)用，擁有豐富的應(yīng)用場景和較強(qiáng)的不可替代性，目前同樣被日本、韓國等國外氣體廠商壟斷。

綜上，上述產(chǎn)品面向存儲芯片、功率半導(dǎo)體芯片等重點(diǎn)領(lǐng)域，符合先進(jìn)工藝制程、第三代半導(dǎo)體等未來發(fā)展方向，屬于被外資企業(yè)“卡脖子”的關(guān)鍵產(chǎn)品，對我國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的自主可控產(chǎn)生了較大威脅。因此，公司下游客戶迫切需要國內(nèi)氣體供應(yīng)商來實現(xiàn)產(chǎn)品的進(jìn)口替代。

4、綜合考慮產(chǎn)品投資風(fēng)險及原材料、技術(shù)等方面的可實施性

公司堅持多品種的特種氣體開發(fā)策略，有助于提升公司對下游客戶的綜合服務(wù)能力，滿足下游客戶對于多種氣體產(chǎn)品的需求，并分散投資風(fēng)險。本次募投產(chǎn)品充分考慮了相關(guān)產(chǎn)品所需的投資規(guī)模，單個產(chǎn)品的資金投入規(guī)模均較小，符合公司一貫的產(chǎn)品開發(fā)策略和經(jīng)營策略。

同時，公司也充分考慮相關(guān)產(chǎn)品的原材料易得性、技術(shù)可行性等可實施性方面。在原材料方面，本次募投項目產(chǎn)品的原材料主要為甲酸、硫酸等基礎(chǔ)化工品和相關(guān)產(chǎn)品的粗品，本次新產(chǎn)品高純六氟丙烷的粗產(chǎn)品六氟丙烷為新型滅火劑，溴化氫和三氯化硼市場上亦有較為充足的粗產(chǎn)品供應(yīng)，原材料具備較為穩(wěn)定的市場基礎(chǔ)和廣泛的供應(yīng)渠道，保障了原材料端的穩(wěn)定性。在生產(chǎn)工藝方面，除高純一氧化碳和高純一氧化氮為合成加純化的生產(chǎn)工藝外，其余產(chǎn)品均為純化生產(chǎn)工藝，與公司原有的純化為主的技術(shù)和生產(chǎn)路線相同，公司具備豐富、成熟的生產(chǎn)經(jīng)驗，能夠有效保障項目的順利實施。

本次募投項目與前次募投項目的實施主體、實施地點(diǎn)相同，即實施主體同為江西華特，實施地點(diǎn)同為永修縣星火工業(yè)園區(qū)星云大道東側(cè)江西華特自有土地上。該土地位于永修縣云山經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)星火工業(yè)園，系江西省化工產(chǎn)業(yè)的重要聚集地，本次募投項目符合土地利用總體規(guī)劃和開發(fā)區(qū)建設(shè)規(guī)劃，土地面積滿足項目建設(shè)需求，具備良好的實施基礎(chǔ)。

本次募投項目系在江西華特現(xiàn)有空余場地上擴(kuò)建生產(chǎn)基地，除共用倉庫及一個車間外，不與前次募投項目共用產(chǎn)線、土地、廠房。

本次募投項目擬建設(shè)特氣車間、潔凈車間、氣體混配車間、中心控制室、危化品倉庫、氣瓶處理車間、辦公樓等建筑，建筑面積共計12,240.00平方米，江西華特現(xiàn)有空余場地能夠滿足項目建設(shè)需求。

本次募投項目將利用前次103廠房用于新增電子級溴化氫生產(chǎn)線，并共用相關(guān)倉庫，主要原因系為了快速形成電子級溴化氫的生產(chǎn)能力，并實現(xiàn)現(xiàn)有資源的充分有效利用，避免重復(fù)建設(shè)。

除上述情形外，本次募投項目的其余產(chǎn)線、車間、研發(fā)中心、辦公樓、控制室等將在江西華特現(xiàn)有空余場地上新建，不與前次募投項目共用，共用部分的投資額未包括在本次募投項目投資額內(nèi)，不存在重復(fù)投入情況。

本次募投項目新產(chǎn)品的技術(shù)路線與公司原有的純化技術(shù)一脈相承，公司具備豐富的純化技術(shù)儲備，已成功實現(xiàn)了同類產(chǎn)品的量產(chǎn)并突破了其生產(chǎn)的共性難點(diǎn)，具備技術(shù)可行性。

本次規(guī)劃的新產(chǎn)品同樣需要取得上述生產(chǎn)經(jīng)營資質(zhì)許可，就相關(guān)資質(zhì)的產(chǎn)品許可范圍進(jìn)行補(bǔ)充。但本次募投項目規(guī)劃生產(chǎn)的新產(chǎn)品在危險等級、管理方式要求、安全措施等方面與江西華特原有的相關(guān)產(chǎn)品基本一致，江西華特具備生產(chǎn)、經(jīng)營管理相關(guān)產(chǎn)品的安全生產(chǎn)條件及管理能力，預(yù)計取得相關(guān)資質(zhì)不存在實質(zhì)性障礙。

由于特種氣體的純度、精度、穩(wěn)定度直接決定下游集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品質(zhì)量，因此在新進(jìn)入其供應(yīng)鏈體系的過程中需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證2輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，且由于需對穩(wěn)定度進(jìn)行驗證，認(rèn)證周期較長。在進(jìn)入其產(chǎn)業(yè)鏈后，隨著雙方溝通合作的不斷深入，后續(xù)產(chǎn)品的認(rèn)證和導(dǎo)入速度則會大幅提升。因此，能否進(jìn)入下游集成電路等相關(guān)客戶的供應(yīng)鏈體系對于后續(xù)產(chǎn)品的導(dǎo)入至關(guān)重要。

綜上，公司在技術(shù)水平、生產(chǎn)管理能力及品質(zhì)管理能力等方面已取得下游集成電路、顯示面板等相關(guān)領(lǐng)域客戶的廣泛認(rèn)可，為本次募投項目新產(chǎn)品的認(rèn)證奠定了良好的客戶基礎(chǔ)，能夠大幅縮短后續(xù)產(chǎn)品認(rèn)證周期，為產(chǎn)品順利通過相關(guān)客戶認(rèn)證提供有力保障。

本次實施年產(chǎn)1,764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項目具備充分的可行性和必要性，通過本次募集資金投資項目的實施，有利于在市場競爭中穩(wěn)固公司在集成電路等下游領(lǐng)域的領(lǐng)先地位，提升自身盈利能力和市場影響力。

公司本次年產(chǎn)1,764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項目規(guī)劃生產(chǎn)高純一氧化碳、高純一氧化氮、高純六氟丙烷及異構(gòu)體、電子級溴化氫、電子級三氯化硼、超高純氫氣、超純氪氣、超純氖氣、超純氦氣和超純氙氣共1,764噸。結(jié)合本次募投項目的市場空間、競爭格局、下游客戶需求、報告期內(nèi)產(chǎn)品收入情況、現(xiàn)有及潛在訂單情況，本次募投項目的產(chǎn)能規(guī)劃合理。

隨著下游集成電路、顯示面板等領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展，半導(dǎo)體材料市場需求旺盛，特種氣體市場未來仍將保持良好的增長態(tài)勢，為本次募投項目提供了廣闊的市場需求和產(chǎn)能消化空間。

本次募投項目所生產(chǎn)的電子特種氣體產(chǎn)品目前主要以國外氣體公司供應(yīng)為主，在下游半導(dǎo)體客戶需求持續(xù)增長和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國產(chǎn)化加速的情況下，存在較大的國產(chǎn)替代空間，未來募投項目相關(guān)產(chǎn)品的產(chǎn)能消化風(fēng)險較小。

公司本次募投項目的產(chǎn)能是公司充分結(jié)合下游需求情況、行業(yè)競爭情況及自身的客戶基礎(chǔ)綜合確定的，擴(kuò)產(chǎn)產(chǎn)能符合實際需求，產(chǎn)能設(shè)定審慎合理。

關(guān)鍵詞 募投項目 生產(chǎn)基地 電子級溴化氫 高純六氟丙烷 電子級三氯化硼 華特氣體